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第505章 光刻机:烛龙降世!!!(第5页)

“这个消息一旦公布,影响力会是核弹级别...我们想等你回来亲自决定。”

第二天,廊坊某片工业区的最深处。

从外表看,烛龙基地就是一个普通的精密机械厂,门口连个像样的招牌都没有。

但走进厂区深处,穿过三道指纹和虹膜验证的安全门,里面完全是另一个世界。

一座恒温恒湿、洁净度达到ISO Class 1的超净车间里,几十个穿着无尘服的工作人员在忙碌。

而最显眼的,正是车间正中间那个三层楼高的庞然大物。

那就是“烛龙”——中国第一台自主设计的ArF浸没式光刻机!

烛龙项目总工师姓陈,六十来岁,戴着酒瓶底一样的眼镜。

陈总工是八十年代的公派留学生,在硅谷干了十几年后,于2000年被李向阳亲自挖回国。

这九年里,他几乎没离开过这座工厂。

见到李向阳,陈总师连寒暄都顾不上,直接拉着他走到控制台前。

“李总,昨天晚上试运行八小时,线宽精度稳定在38纳米...已经达到量产标准了!”

李向阳看着屏幕上那根绿色曲线,心脏重重跳了一下。

38纳米!!!

那些国际巨头最先进的光刻机,精度也就这个水平了。

“良品率呢?”

“在咱们自己的试验线上跑了三批次晶圆,平均良率87.2%。”

陈总师推了推眼镜。

“咱们…咱们成了!”

三天后,四九城国家会议中心,五百人的发布厅座无虚席。

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